膜厚解析ソフトウェア　　DT-Fit

特徴

エリプソメトリにて計測したサンプルのψ(プサイ)とΔ(デルタ)のデータを独自の光学モデルを組み合わせて生成した理論データと比較し、光学定数や膜厚、又は未知のパラメーターを理論値が実測データにフィットするように自動的に変化させてサンプルの膜厚、光学定数、組成をもとめることができます。

	シュミレーション例	2D表示例

動作環境　　Windows NT、2000が作動するパソコン